Impact of Cross-Sectional Shape on 10-nm Gate Length InGaAs FinFET Performance and Variability
- Seoane, N.
- Indalecio, G.
- Nagy, D.
- Kalna, K.
- Garcia-Loureiro, A.J.
ISSN: 0018-9383
Año de publicación: 2018
Volumen: 65
Número: 2
Páginas: 456-462
Tipo: Artículo