Local Defect Density in Polycrystalline High-k Dielectrics: CAFM-Based Evaluation Methodology and Impact on MOSFET Variability

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Zeitschrift:
IEEE Electron Device Letters

ISSN: 0741-3106

Datum der Publikation: 2017

Ausgabe: 38

Nummer: 5

Seiten: 637-640

Art: Artikel

DOI: 10.1109/LED.2017.2680545 GOOGLE SCHOLAR
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